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參數/型號

ZJ-70

ZJ-150

ZJ-300

ZJ-600

ZJ-1200

極限真空（Pa）

9×10-1

9×10-1

9×10-1

9×10-1

9×10-1

理論抽速(L/S)

70

150

300

600

1200

配用前級爪泵

8PH

15PH

30PH

30PH

70PH